3D 輪廓測量儀“VR-6000 系列”以非接觸方式直接實現粗糙度儀、形狀輪廓測量儀的測量。3D 輪廓測量儀以 0.1 μm 分辨率捕捉觸針式無法充分測量的面整體形狀。還新搭載了電動旋轉單元。在旋轉樣品的同時進行測量,能夠消除死角,再現真實的截面形狀。可簡單測量壁厚及凹陷尺寸。另外,采用 HDR 掃描算法提升了掃描能力,即使是光學輪廓測量儀不擅長的有光澤的目標物或材料反光弱的目標物,也能瞬間判斷理想條件,正確測量形狀。與傳統機型*相比,能夠將動態范圍最大擴大到 1000 倍進行掃描。*與本公司VR-5000 產品的比較
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